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羅茨真空機(jī)組是以羅茨泵為主泵，以水環(huán)泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其它真空泵更為有利，它克服了單臺(tái)水環(huán)泵使用時(shí)極限壓力差（機(jī)組的極限壓力比水環(huán)泵有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。尤其能夠適應(yīng)抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)候更為明顯。
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